高流量超純氣體擴散器過濾器專為半導體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計? ?穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流

結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。

獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、不僅確保高效過濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵?。

可定制化設(shè)計、靈活適應(yīng)各類安裝空間。

產(chǎn)品特點

不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)、可快速排氣

整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

減少工藝腔體排氣時的湍流

適用于多種工藝氣體

潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

100%完整性測試通過

100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

防止微?；烊搿椭岣弋a(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計

技術(shù)參數(shù)

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