隨著半導(dǎo)體產(chǎn)能的提升，工藝氣體的供應(yīng)量也隨之增大，大流量過濾器成為生產(chǎn)線的關(guān)鍵設(shè)備。深圳恒歌 BF 系列大流量過濾器，專為滿足大流量需求設(shè)計，是大流量過濾器中的高效解決方案。?

其創(chuàng)新的多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計，大幅增加了有效過濾面積，使得氣體在高流量狀態(tài)下仍能平穩(wěn)通過，阻力損失遠低于傳統(tǒng)過濾器，降低了氣體輸送系統(tǒng)的能耗。在保證大流量的同時，0.003μm 的過濾精度絲毫未打折扣，確保高流量下的氣體純度。全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)強度高，能承受大流量帶來的系統(tǒng)壓力，長期運行不易變形。整體設(shè)計便于安裝與維護，適配大產(chǎn)能生產(chǎn)線的連續(xù)運行需求，有特殊需求可定制加工，滿足不同流量規(guī)模的生產(chǎn)要求。?

產(chǎn)品特點：?

●?大流量設(shè)計，適配高產(chǎn)能生產(chǎn)?

●?低阻損特性，降低系統(tǒng)能耗?

●?高流量下仍保持超高過濾精度?

●?高強度結(jié)構(gòu)，耐受系統(tǒng)壓力?

●?易于安裝維護，適合連續(xù)運行?

●?支持定制加工，滿足特殊需求?